臭氧催化氧化裝置通常由以下幾部分組成：

進(jìn)氣系統(tǒng)，臭氧發(fā)生器，催化劑，反應(yīng)器，臭氧尾氣分解系統(tǒng)；控制系統(tǒng)：用于控制裝置的運(yùn)行參數(shù)，如溫度、壓力、流量等；輔助設(shè)備，如冷水系統(tǒng)、過濾器等，用于保證裝置的穩(wěn)定運(yùn)行。

臭氧催化氧化裝置的具體組成可能會(huì)根據(jù)處理對(duì)象和工藝要求的不同而有所差異。