VEECO臭氧發(fā)生器與NANO15臭氧發(fā)生器對(duì)比

VEECO臭氧發(fā)生器用于 Savannah? G2  ALD中，屬于可選項(xiàng)

選項(xiàng)：低蒸氣壓輸送 （LVPD） 系統(tǒng)

臭氧發(fā)生器

用于晶圓盒或 3D 物體

的圓頂蓋 手套箱 接口

原位橢圓偏振法

原位石英晶體微天平 （QCM）

自組裝單層 （SAM）

顆粒涂層

NANO15臭氧發(fā)生器

NANO15臭氧發(fā)生器是適用于需要高濃度臭氧的應(yīng)用的完美臭氧發(fā)生器。 Nano 僅需 4 LPM 氧氣即可產(chǎn)生 15 克/小時(shí)的臭氧，是一款高效、緊湊的臭氧發(fā)生器套件。這種風(fēng)冷式臭氧發(fā)生器的臭氧濃度可高達(dá) 12%（按重量計(jì)）。

如果您正在尋找VEECO臭氧發(fā)生器或德國(guó)BMT臭氧發(fā)生器替代方案，或者只是想要臭氧在水中的高溶解度，那么這對(duì)于您的應(yīng)用來(lái)說(shuō)是一款出色的臭氧發(fā)生器。

Nano 臺(tái)式安裝臭氧發(fā)生器結(jié)構(gòu)緊湊、高效，是小型臭氧項(xiàng)目的很好工具。